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电源开功率后,T,L值跑到99%后无法起辉

发布时间:2015-08-18 09:01      发布人:admin  浏览量:1621

1.如果之前是能正常使用的,出现这种情况多数是负载发生变化导致匹配范围超出如真空度,腔体发生变化。

2.如果腔体及靶材没有发生变化,可以检查一下预置位置是否太偏。可以尝试取一个T/L 50%的预置点来重新匹配。或者尝试手动调节T/L是否能够达到匹配。

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