电源开功率后，T,L值跑到99%后无法起辉
发布时间：2015-08-18 09:01 发布人：admin 浏览量：2471
1.如果之前是能正常使用的，出现这种情况多数是负载发生变化导致匹配范围超出如真空度，腔体发生变化。
2.如果腔体及靶材没有发生变化，可以检查一下预置位置是否太偏。可以尝试取一个T/L 50%的预置点来重新匹配。或者尝试手动调节T/L是否能够达到匹配。
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