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K-mate射频电源及匹配器针对不同负载选择相对应的阻抗匹配器

发布时间:2015-08-18 08:50      发布人:admin  浏览量:1700
首先在使用K-mate产品时,要明确应用设备的负载是容抗负载还是感抗负载,根据不同类型的负载选择相适应的射频匹配器。(在采购或调试时告知我司销售人员或技术人员)。容抗负载多指的是真空腔体内电极放电,如磁控溅射,等离子清洗,RIE反应刻蚀,平板PECVD.感抗负载多指是通过线圈耦合等离子体放电,如管式PECVD,ICP刻蚀,射频感应加热等。在选用我司500W功率的射频电源时,容抗负载建议选择VENA-500(0010+00077),感抗负载时应选择VENA-500(0010+00077)并告知负载线圈的规格如铜管的大小,线圈的内径,圈数,及间距。以便我们在出厂时做好调试。在选用1000W匹配器时也需如此。

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